M-Spin 200勻膠旋涂儀是用于均勻涂覆和干燥晶圓片或襯底。該勻膠旋涂儀適用于直徑最大為8英寸的晶圓片,或為6英寸 x 6英寸的襯底。它可使用分配臂全自動工作,分配移動托盤,可定義數(shù)量。該勻膠旋涂儀配備了頂蓋的聯(lián)鎖機制,和可視化全圖形觸摸面板。M-Spin 200勻膠旋涂儀包含一個內(nèi)置模塊,該模塊連接到柔性電纜,外接到一個19英寸外部控件上。
聯(lián)系人:林經(jīng)理
電 話:0755-29852340,29852450
手 機:13510161192
郵 箱:arlen.lin@szkesda.com
地 址:深圳市光明區(qū)公明街道水貝北路大新華達工業(yè)園3號203