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準(zhǔn)分子激光器：CLS 5000

  • 準(zhǔn)分子激光器：CLS 5000 準(zhǔn)分子激光器是傳統(tǒng)的氣體激光器，由于波長短（紫外），短脈沖寬度，高脈沖能量，是激光器家族不可替代的品種！應(yīng)用上，準(zhǔn)分子激光器在脈沖沉積鍍膜（PLD），光纖光柵刻寫，LASIK，光刻，微納加工等方面占主導(dǎo)的地位。

產(chǎn)品詳情

準(zhǔn)分子激光器：CLS 5000

      準(zhǔn)分子激光器是傳統(tǒng)的氣體激光器，由于波長短（紫外），短脈沖寬度，高脈沖能量，是激光器家族不可替代的品種！應(yīng)用上，準(zhǔn)分子激光器在脈沖沉積鍍膜（PLD），光纖光柵刻寫，LASIK，光刻，微納加工等方面占主導(dǎo)的地位。



CLS 5000技術(shù)參數(shù):

激光介質(zhì)

ArF

KrF

XeCl

波長 (nm)

193

248

308

最大脈沖能量 (mJ)

15

25

12

最大重復(fù)頻率 (Hz)

500

最大平均功率 (W)

7.5

12.5

  6

脈沖能量穩(wěn)定度(sigma, %)

< 2

光斑尺寸 (VхH, mm)

12 х 3.5

12 х 4

12 х 4

光束發(fā)散角(FWHM, mrad, VхH)

2 х 1

脈沖持續(xù)時間 (FWHM, ns)

10 – 12

冷卻方式

水冷

重量 (kg)

85

尺寸 (LхWхH, mm)

890 х 340 х 460

電源

220 V, 50-60 Hz,  < 1000 VA



可選功能和附件：


可能配置1000和2000赫茲


CLS 5000主要特點：


非常高的光束指向穩(wěn)定性

高重復(fù)頻率

能量穩(wěn)定性好

設(shè)計緊湊

內(nèi)置能量控制

帶磁轉(zhuǎn)換發(fā)生器


應(yīng)用：


布拉格光柵

無掩膜光刻

準(zhǔn)分子材料加工

激光視力矯正